目前，光刻機領域的老大是荷蘭ASML，壟斷了市場，而國內(nèi)則*依賴進口！前些日子，一臺價值1.06億元的設備經(jīng)空運從荷蘭飛抵廈門，卻得到機場海關嚴陣以待的待遇，而所引進光刻機設備卻只是中低端設備，光刻機領域中國的差距到底在哪？

事件經(jīng)過設備價值過高達1.06億元
對保存和運輸要求很高
必須保持在23℃恒溫狀態(tài)下運輸為了避免影響設備的精度，在運輸中也對穩(wěn)定性有*的要求。因此，機場海關以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監(jiān)管，待貨物裝入特制溫控氣墊車，移至海關的機坪視頻監(jiān)控探頭之下，完成緊急查驗后當晚就得到放行。

光刻機知識

光刻機是芯片制造的核心設備之一
按照用途可以分為好幾種
生產(chǎn)芯片的光刻機
用于封裝的光刻機
LED制造領域的投影光刻機

用于生產(chǎn)芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上 大的短板，國內(nèi)晶圓廠所需的光刻機*依賴進口，本次廈門企業(yè)從荷蘭進口的光刻機就是用于芯片生產(chǎn)的設備。

在光刻機上，除了老大ASML，尼康和佳能也曾做過光刻機，而且尼康還曾經(jīng)得到過Intel的訂單。但是近些年，尼康在ASML面前被打的毫無還手之力，光刻機市場基本被ASML占據(jù)——即便是尼康 新的Ar-F immersion 630賣價還不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售價的一半，也無法挽回敗局。

原因何在？一方面是Intel新CEO上臺后，不再延續(xù)與尼康的620D合同，這使得尼康失去了一個大客戶。另一方面，也和尼康自身技術實力不足有關，尼康的光刻機相對于ASML有不少瑕疵，在操作系統(tǒng)上設計的架構有缺陷，而且尼康的光刻機的實際性能和尼康*宣傳的有不小差距，這使得臺積電、Intel、三星、格羅方德等晶圓大廠不可能為了省一點錢去買有瑕疵的產(chǎn)品。
目前，尼康的光刻機基本被ASML吊打，主流半導體產(chǎn)線中只有少數(shù)低階老機齡的光刻機還是尼康或者佳能，其他基本都是ASML的天下。某種程度上，尼康的光刻機也只能用賣的超級便宜來搶市場了。那么，賣的到底有多便宜呢？
用數(shù)據(jù)來說話，ASML的 EUV NXE 3350B 單價超過1億美元，ArF Immersion售價大約在7000萬美元左右。相比之下，尼康光刻機的單價只相當于ASML價格的三分之一。光刻機的玻璃增透膜難度也是高精尖

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上圖是一張ASML光刻機介紹圖
下面，簡單介紹一下圖中各設備的作用

在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復雜的芯片，線路圖的層數(shù)越多，也需要更精密的曝光控制過程。
國內(nèi)現(xiàn)狀

目前，光刻機領域的老大是荷蘭ASML，并已經(jīng)占據(jù)了高達80%的*，壟斷了光刻機市場。日本尼康在光刻機上*被ASML擊敗，即便尼康的ArF光刻機售價僅僅不到ASML的一半也無補于事。Intel、臺積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機都是買自ASML，格羅方德、聯(lián)電以及中芯等晶圓廠的光刻機主要也是來自ASML。 更關鍵的是， 的EUV光刻機僅僅ASML能夠生產(chǎn)，ASML在今年第三季度和第四季度出售的兩臺EUV光刻機售價都超過1億美元，落后EUV一代的ArF光刻機平均售價也在4000萬至5000萬歐元左右，從高企的報價和EUV光刻機*出售可以看出，光刻機的技術門檻*，是人類智慧集大成的產(chǎn)物。相比之下，國內(nèi)光刻機廠商則顯得非常寒酸，處于技術的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機中，性能 的是能用來加工90nm芯片的光刻機，技術差距說是鴻溝都不為過。正是因此，國內(nèi)晶圓廠所需的光刻機*依賴進口，本次從荷蘭空運至廈門機場的ASML光刻機，就是用于芯片生產(chǎn)制造的光刻機，由于是廈門的一家公司申報進口的，小編猜測，這臺設備很有可能是廈門當?shù)卣c中國臺灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的。
不過，由于西方瓦森納協(xié)議的限制，中國只能買到ASML的中低產(chǎn)品，這一點從廈門當?shù)仄髽I(yè)進口的光刻機報價僅1億人民幣就可以看出來了。